真空釬焊爐的主要結(jié)構(gòu)；
真空釬焊爐主機(jī)為臥式單室加熱結(jié)構(gòu)，由爐體、加熱室、真空系統(tǒng)、空氣冷卻系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)、分壓系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)和電氣控制系統(tǒng)組成。
1.真空爐主體
真空爐的主體由爐體和加熱室組成。爐殼、爐門、電機(jī)罩的外殼均由雙層筒體、雙層橢圓形封頭和法蘭通過氣密焊縫焊接而成。雙層筒體之間設(shè)有水道，內(nèi)部連通冷卻水。爐蓋采用鎖環(huán)鎖緊結(jié)構(gòu)。加熱室設(shè)計(jì)為圓柱形，隔熱罩由框架和石墨氈組成。
2.加熱力系統(tǒng)
加熱力系統(tǒng)包括加熱力電源、溫度控制系統(tǒng)和加熱力元件。加，熱電源選用磁調(diào)壓器，調(diào)壓由DC勵(lì)磁控制，根據(jù)不同的控制信號實(shí)現(xiàn)閉環(huán)自動(dòng)控制，DC勵(lì)磁電源由雙向晶閘管控制。
溫控儀表具有自整定功能。熱電偶將電爐內(nèi)部的溫度轉(zhuǎn)換成電信號，將檢測到的爐溫電流值與設(shè)定值的差值作為PID運(yùn)算后的輸出信號，控制三端雙向可控硅開關(guān)的導(dǎo)通角，從而有效控制加發(fā)熱元件的平均加熱功率，使?fàn)t溫與設(shè)定的加熱曲線一致。
使用18根石墨管作為加熱元件，它們通過三角形連接，并沿?zé)釁^(qū)的圓周均勻分布，以提供良好的爐溫均勻性。加加熱元件通過三個(gè)水冷電極與外部接線相連。
3.真空系統(tǒng)
機(jī)組主泵為KT-500擴(kuò)散泵，前置泵為ZJ-600 型羅茨泵和2X-70旋片機(jī)械泵。它們配有高真空閥、主路閥、旁路閥和與機(jī)械泵相連的電磁差壓閥。機(jī)械泵是一個(gè)粗糙的真空裝置，機(jī)械泵的后一級連接一個(gè)羅茨泵，羅茨泵的抽真空率較高，所以真空系統(tǒng)可以抽到更高的真空度。但只有當(dāng)泵系統(tǒng)中的壓力達(dá)到羅茨泵，允許的入口壓力時(shí)，羅茨泵才能開始工作，否則會(huì)因過載和過熱而損壞。擴(kuò)散泵是一種高真空裝置，它將真空系統(tǒng)中的氣體分子擴(kuò)散到高速油蒸汽射流中，并通過前一個(gè)泵將其排入空氣中，完成抽吸動(dòng)作。
4.空氣冷卻系統(tǒng)
真空爐主體后部裝有三相異步電動(dòng)機(jī)。氣體經(jīng)換熱器冷卻后，通過導(dǎo)流罩、進(jìn)氣口和葉輪，經(jīng)隔熱門進(jìn)入爐內(nèi)工作區(qū)，然后返回散熱器進(jìn)行循環(huán)冷卻。
5.水冷系統(tǒng)
水冷系統(tǒng)由不銹鋼截止閥、進(jìn)水口、放水箱、水壓接觸壓力表等組成。進(jìn)水口配有一個(gè)63.5毫米(5英寸)的不銹鋼球閥，出水口配有一個(gè)101.6毫米(4英寸)的法蘭，只需連接用戶的循環(huán)水系統(tǒng)接口。
6.分壓系統(tǒng)
分壓系統(tǒng)由電磁真空充氣閥和可調(diào)針閥組成。銅釬焊過程中需要控制分壓時(shí)，可以充入高純氮?dú)饣驓鍤�，分壓范圍控制�?~500Pa。
7.充氣系統(tǒng)
充氣系統(tǒng)由大直徑充氣截止閥、集氣母線、真空電接觸壓力表等組成。
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